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離子減薄儀使用什么原理使其性能優異？
點擊次數：1872 更新時間：2020-09-23
離子減薄儀是一種用來制備透射電鏡樣品的設備，其原理是利用被電離的氬離子轟擊樣品表面，從而使樣品減薄，達到透射電鏡觀察要求。頁巖中的微孔隙及微裂縫是頁巖氣儲存空間及流通通道，有重要的研究價值，然而頁巖中的孔隙微小，多為納米級，用傳統的制樣方法很難觀察到。
離子減薄儀的工作原理：
該儀器利用高壓對氬氣進行電離，電離后的氬離子在電場作用下，轟擊樣品表面，樣品在氬離子的不斷轟擊下逐漸減薄，直至滿足透射電鏡觀察要求。氬離子拋光儀與離子減薄儀工作原理一致，也是用氬離子轟擊樣品表面，使樣品表面變的光滑平整，所以設備基本結構不需要改動。
離子減薄儀專門為制備透射樣品而設計(透射電鏡樣品為直徑3 mm，厚度幾個微米的薄片)，為了滿足設備工作條件，掃描電鏡樣品需要進行預處理，首先把樣品切割成1 mm厚的薄片，再用砂紙對樣品表面進行打磨，對樣品表面打磨時，砂紙選擇要由粗到細，砂紙目數為2000~3000目。
透射電鏡樣品尺寸很小，樣品要粘在載片中間的小孔上。掃描電鏡觀察的樣品尺寸比透射樣品大的多，為了提高效率，一次可以多放幾個個樣品，用熱熔膠固定在樣品臺上。接下來的工作是調整工作參數，包括電壓、氬離子流，樣品傾角、拋光時間等。增加工作電壓和氬離子流可以提高拋光效率，但是這兩個參數過高容易對樣品造成損傷；樣品傾角大，拋光面積小，效率高，樣品傾角小。
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